真空箱氦质谱检漏仪主要性能指标试验方法
2023.06.21
1.真空度低；
2.灯丝电流过大；
3.对灯丝有害的气体气压太高（氧化性气体、水蒸气、氢气）。
那么，在使用中尽量避免灯丝在上述恶劣环境下长时间开启，或者说尽量提高灯丝的上述使用条件就可以有效延长真空箱氦质谱检漏仪的灯丝寿命。
(1)便携性:许多真空箱氦质谱检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，为野外作业和高空作业提供了很大的便利。
(2)高压强下检漏:检漏口的压力可高达数百帕，对于检测大系统和泄漏工件非常有用。
(3)高度自动化：氦峰自动标定，零点自动调整，量程自动转换，数据自动处理，可外接打印机。全机由微电脑控制，具有选菜功能，一键完成全检漏过程。
(4)完全无油的干式检漏:一些地方生产的检漏仪可以采用干式泵，达到无油蒸汽的效果，为无油系统、晶片等半导体器件的检漏提供了有利条件。
